UPR-1系列高纯减压阀
　UPR-1系列是一款高纯的316L不锈钢单级减压阀。全电抛光本体,25Ra表面光洁度,标准的male 或female VCR接口。这个特点使得该系列阀门在半导体最终用户提供了可靠的应用和最佳的选择,并且提供了经济的价格。
应用:
高纯气源分配
扩散炉
单晶硅
特气
研发系统
半导体OEM
特点:
标准的25 Ra光洁度
316L不锈钢材料本体,Hastelloy C-22可供选择
1 x 10-9 atm cc/sec泄露率
可选VCR接口(1/4, 3/8, 1/2)
关断密封
使用温度: 到+260° C
入口压力:6000psig
压力控制范围是 - 10, 25, 50, 100, 250 和 500 psig
Cv值:.025, .06, 0.2, 和 0.5
小于5cc的内部容积
极限压力是 2 倍的最大的工作压力
爆破压力是 4 倍的最大的工作压力
重1.9 pounds (0.86 Kg)
镶嵌式安装或面板安装

UCP-1系列高纯减压阀
　UCP-1系列是一款高纯的316L不锈钢单级小型减压阀。全电抛光本体,25Ra表面光洁度,标准的male 或female VCR接口,Cv值有0.06和0.20。这个特点使得该系列阀门在半导体最终用户提供了可靠的应用和最佳的选择,并且提供了经济的价格
应用:
高纯气源分配
扩散炉
单晶硅
特气
研发系统
半导体OEM
特点:
15 Ra. 10 Ra 或 4 Ra 光洁度
316L不锈钢材料本体,Hastelloy C-22可供选择
密封材料:Kalrez, Tefzel, Viton, Teflon和 Vespel
1 x 10-9 atm cc/sec泄露率
VCR接口(1/4)
关断密封
使用温度: 到+260° C
入口压力:6000psig
压力控制范围是 - 10, 25, 50, 100, 250 和 500 psig
Cv值:0.025, 0.06, 0.20
小于3cc的内部容积
极限压力是 2 倍的最大的工作压力
爆破压力是 4 倍的最大的工作压力
重 1.1 pounds (0.50 Kg)
镶嵌式安装或面板